½ºÇÉÄÚÅÍ ¼±Åýà °í·Á»çÇ× home
  Description(¼³¸í) ÂüÁ¶(Remark)
½Ã·á Å©±â

 Á÷°æ ±âÁØ :6ÀÎÄ¡ÀÌÇÏ ,8ÀÎÄ¡ÀÌÇÏ,8ÀÎÄ¡ ÀÌ»ó

 
RPM(ȸÀü¼Óµµ)  ÃÖ´ëÇÊ¿ä ȸÀü¼Óµµ ex) 10,000 RPM  
STEP¼ö  ÇÑÀÛ¾÷¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿©·¯´Ü°èÀÇ ¼Óµµ  
¸Þ¸ð¸® ±â´É(Memory)  µ¿ÀÏÇÑ ÀÛ¾÷À»  ¹Ýº¹Çؼ­ ÀÛ¾÷ÇÒÇÊ¿ä°¡ ÀÖÀ»¶§ Æí¸®  
ȸÀüÁ¤¹Ðµµ  ±ÕÀÏÇÑ ÄÚÆø·ÀÌ ÇÊ¿äÇҽà :¼­º¸¸ðÅÍ,½ºÅ×ÇθðÅÍ ÇÊ¿ä  
 ÀϹÝÀûÀÎ Å×½ºÆ® ÀÛ¾÷½Ã :¾Æ³¯·Î±× ½ºÇǵå ÄÜÆ®·Ñ¸ðÅÍ  
ÄÜÆ®·Ñ ¹æ¹ý  µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÄÜÆ®·Ñ :ÀÏ¹Ý ½ºÇÉÄÚÅÍ  
 ¹öÆ°½Ä Á¶ÀÛ :º¸±ÞÇü ½ºÇÉÄÚÅÍ :°¡°ÝÀú·Å  
ȸÀü ¹æÇâ ¼±Åà  ¿ªÈ¸Àü, Á¤È¸Àü,puddle ¼±Åà °¡´É Á¦Ç° spin150,spin200
 Á¤È¸Àü¸¸ °¡´ÉÇÑ Á¦Ç°  
ÄÚÆõβ² ±ÕÀϼº(Unifirmaty)  

ÄÚÆõβ²ÀÇ ÆíÂ÷µµ°¡ ÀÛÀº ÀÛ¾÷ÀÌ ÇÊ¿äÇÒ¶§´Â ¸ðÅÍÀÇ ¼º´ÉÀÌ ¾ÆÁÖ Áß¿äÇϸç
  À̶§´Â ¹Ýµå½Ã ¼­º¸¸ðÅͳª ½ºÅÞÇÎ ¸ðÅ͸¦ »ç¿ëÇϴ°ÍÀÌ À¯¸®ÇÔ.

 ¸ðÅ͵µ º¸Åë µ¶ÀÏÁ¦³ª ÀÏÁ¦ ¼­º¸¸ðÅÍ »ç¿ë °°Àº ¼­º¸¸ðÅÍ ¿¡¼­µµ ¸ðÅÍÀÇ ¼º´É¿¡µû¸¥ ±ÕÀϵµ ÆíÂ÷´Â Á¸ÀçÇÔ.

 
È®À强   ½ºÇÉÄÚÅÍ¿¡ EBR,µðº§·ÎÆÛ,¿¡Ã³,µå¶óÀÌ¾î ±â´É Æ÷ÇÔ ¿©ºÎ
  ³»ºÎ ÇÁ·Î±×·¥¿¡¼­ Áö¿øÇҽà ¹ëºê³ª ³ëÁñ, º£½½¸¸ Ãß°¡ ÀåÂø½Ã »ç¿ë °¡´É.


spin150,spin200 option
±Û·Îºê ¹Ú½º³» ¼³Ä¡  ¼ÒÇü Å©±â ¹× Å°º¸µå ºÐ¸®Çü À¯¸® spin150,spin200
     


½ºÇÉÄÚÆýà °í·ÁÇÒ»çÇ×2

-½ºÇÉÄÚÆýà ÃÖÁ¾ÀûÀÎ Çʸ§ µÎ²²¿Í?Ư¼ºÀº ¼öÁöÀÇ ¼Ó¼º(Á¡¼º, °ÇÁ¶À², ÀÀ°íÀ², Ç¥¸é Àå·Â µî)°ú
½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ¼±ÅÃµÈ ¸Å°³º¯¼ö¿¡ µû¶ó ´Þ¶óÁý´Ï´Ù. ½ºÇÉ ¼Óµµ, °¡¼Ó ¹× °ÇÁ¶µµ °°Àº ¿äÀεéÀÌ ¿µÇâÀ» ¹ÌĨ´Ï´Ù.
 


-½ºÇÉ ÄÚÆÿ¡¼­ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿äÀÎÀº À¯´ÏÆ÷¸ÓƼ(±ÕÀϵµ)¿Í repeatability(¹Ýº¹¼º)ÀÔ´Ï´Ù.

 

-½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â ¸Å°³º¯¼öÀÇÀÛÀº º¯ÀÌ°¡ ÄÚÆÃÇʸ§¿¡¼­´Â Å«Â÷À̸¦ °¡Á®¿Ã ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
 

-ÀϹÝÀûÀÎ ½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º´Â ¾×ü ¼öÁö¸¦ ±âÆÇ Ç¥¸é¿¡ ÁõÂøÇÏ´Â µð½ºÆ潺 ½ºÅÜ, ¼öÁö¸¦ Æì±â À§ÇÑ °í¼Ó½ºÇÉ ½ºÅÜ,

³²¾Æ ÀÖ´Â ¿ëÁ¦¸¦ Çʸ§¿¡¼­ Á¦°ÅÇϱâ À§ÇÑ °ÇÁ¶ ½ºÅÜÀ¸·Î ÀÌ·ç¾îÁý´Ï´Ù.
 


-ÀϹÝÀûÀ¸·Î µð½ºÆ潺¿¡´Â Á¤Àû µð½ºÆ潺¿Í µ¿Àû µð½ºÆ潺, µÎ °¡Áö°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.

.Á¤Àû µð½ºÆ潺´Â ¼Ò·®ÀÇ ¾×ü¸¦ ±âÆÇÀÇ Á߾Ӻο¡ ÁõÂøÇÏ´Â °Í¸¸ ¼öÇàÇÕ´Ï´Ù.
.¾×üÀÇ ¾çÀº ±× Á¡¼º°ú ÄÚÆÃÇÒ ±âÆÇÀÇ Å©±â¿¡ µû¶ó 1-10 cc Á¤µµÀÔ´Ï´Ù.
.Á¡¼ºÀÌ ³ô¾ÆÁú¼ö·Ï ¶Ç´Â ±âÆÇÀÌ Ä¿Áú¼ö·Ï °í¼Ó ½ºÇÉ µ¿¾È ±âÆÇÀÇ Àüü ¸éÀ» Ä¿¹öÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¾×üÀÇ ¾çÀ» ´Ã·Á¾ß ÇÕ´Ï´Ù.

 

-µ¿Àû µð½ºÆ潺´Â ±âÆÇÀÌ Àú¼ÓÀ¸·Î ȸÀüÇÏ´Â µ¿¾È ¾×ü¸¦ ÁõÂøÇÏ´Â ÇÁ·Î¼¼½ºÀÔ´Ï´Ù.
.ÀÌ ½ºÅÜ¿¡¼­´Â º¸Åë ¾à 500rpmÀÇ ¼Óµµ°¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
.º¸Åë ±âÆÇÀÇ Àüü Ç¥¸éÀÌ Á¥À» ¸¸Å­ ¸¹Àº ¾çÀÇ ¾×ü¸¦ ÁõÂøÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ¾ø±â ¶§¹®¿¡
.±âÆÇ À§¿¡ ¾×ü¸¦ ÄÚÆÃÇÏ¿© ¼öÁö°¡ °¡Àå Àû°Ô ³²µµ·Ï ÇÕ´Ï´Ù.
.±âÆÇ ÀÚü°¡ Àß Á¥Áö ¾ÊÀ» ¶§ À¯¿ëÇÑ ¹æ¹ýÀ¸·Î, ±×·¸Áö ¾ÊÀ» °æ¿ì »ý±æ ¼ö ÀÖ´Â Æ´À» Á¦°ÅÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.


 

- µð½ºÆ潺 ½ºÅÜ ÈÄ, ³ôÀº ¼Óµµ·Î °¡¼ÓÇÏ¿© ¾×ü°¡ ¿øÇÏ´Â ÃÖÁ¾ µÎ²²·Î ÆìÁö°Ô ¸¸µì´Ï´Ù.
. ÀÌ ½ºÅÜ¿¡¼­ÀÇ ÀϹÝÀûÀÎ ½ºÇÉ ¼Óµµ´Â ±âÆÇ°ú ¾×üÀÇ Æ¯¼º¿¡ µû¶ó 1500-6000 rpm Á¤µµÀÔ´Ï´Ù.
. ÀÌ ½ºÅÜ¿¡´Â 10ÃÊ¿¡¼­ ¸î ºÐ Á¤µµÀÇ ½Ã°£ÀÌ °É¸± ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
. ÀÌ ½ºÅÜ¿¡¼­ ¼±ÅÃÇÏ´Â ½ºÇÉ ¼Óµµ¿Í ½Ã°£ÀÌ º¸Åë ÃÖÁ¾ Çʸ§ µÎ²²¸¦ Á¤ÀÇÇÕ´Ï´Ù.
. ÀϹÝÀûÀ¸·Î ½ºÇÉ ¼Óµµ°¡ ³ô°í ½ºÇÉ ½Ã°£ÀÌ ±æ¼ö·Ï Çʸ§ÀÇ µÎ²²°¡ ´õ ¾ã¾ÆÁý´Ï´Ù.
 

-½ºÇÉ ÄÚÆÿ¡´Â ¹«½ÃµÇ±â ½¬¿î ¿©·¯°¡Áö º¯¼ö°¡ ÀϾ ¼ö Àִµ¥, À̸¦ À§ÇØ ÃæºÐÇÑ ½Ã°£À» ÁÖ´Â °ÍÀÌ °¡Àå ÁÁ½À´Ï´Ù.
 

- ¶§¶§·Î °í¼Ó ½ºÇÉ ½ºÅÜ ÀÌÈÄ Çʸ§À» Á» ´õ °ÇÁ¶½ÃÅ°±â À§ÇØ º°µµÀÇ °ÇÁ¶ ½ºÅÜÀÌ Ãß°¡µË´Ï´Ù.
. ÀÌ´Â Çʸ§ÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ³ôÀ̱â À§ÇØ Ãë±Þ Àü¿¡ ±ä °ÇÁ¶ ½Ã°£À» ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â µÎ²¨¿î Çʸ§¿¡ ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù.
 

-°ÇÁ¶½ºÅÜÀ» °ÅÄ¡Áö ¾ÊÀ¸¸é Ãë±Þ Áß ½ºÇÉ º¼¿¡¼­ ²¨³¾ ¶§ ±âÆÇÀÇ Ãø¸éÀÌ ¹þ°ÜÁö´Â °Í°ú °°Àº ¹®Á¦Á¡ÀÌ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
. ÀÌ °æ¿ì, °í¼Ó ½ºÇÉ ¼ÓµµÀÇ ¾à 25%ÀÎ Áß°£ ½ºÇÉ ¼Óµµ´Â Çʸ§ µÎ²²¸¦ ¹Ù²ÙÁö ¾Ê°íµµ Çʸ§À» °ÇÁ¶Çϴµ¥ ÃæºÐÇÕ´Ï´Ù.
 
   
   

Polos½ºÇÉ ÄÚÆà ÀåºñÀÇ °¢ ÇÁ·Î±×·¥¿¡´Â °³º°ÇÁ·Î¼¼½º ½ºÅÜÀ» ¹«Á¦ÇÑÀ¸·Î ¼¼¹ÐÇÏ°Ô ±¸¼ºÇÒ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.


½ºÇÉ ¼Óµµ
-½ºÇÉ ¼Óµµ´Â ½ºÇÉ ÄÚÆÃÀÇ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿äÀÎ Áß ÇϳªÀÔ´Ï´Ù.
. ±âÆÇÀÇ ¼Óµµ(rpm)´Â ¾×ü ¼öÁö¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ¿ø½É·Â°ú »ó´ÜºÎ °ø±âÀÇ ¼Óµµ ¹× ³­·ù¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌĨ´Ï´Ù.
.ƯÈ÷, °í¼Ó ½ºÇÉ ½ºÅÜÀº ÃÖÁ¾ Çʸ§ µÎ²²¸¦ Á¤ÀÇÇÕ´Ï´Ù.


À̶§ ÄÚÆÃµÈ ¼öÁö°¡ º®¿¡ ¸Â°í Æ¢¾î³ª¿Í ½Ã·á¿¡ ´Ù½Ã ºÙ°Ô µÇ´Â °æ¿ì±â Àִµ¥ ÀÌ´Â ÄÚÆø·ÀÇ ±ÕÀϵµ¸¦ ÀúÇÏÇÏ°Ô µË´Ï´Ù.

**Polos½ºÇÉÄÚÅÍ´Â Bowl ¼³°è ½Ã º¸¿ï¿¡ ºÎµúÄ£ ÄÚÆù°ÁúÀÌ ½Ã·á¿¡ ´Ù½ÃÆ¢±â´Â °ÍÀ» ¹æÁö Çϴ Ƣ±è ¹æÁö ¼³°è°¡ µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.


Polos½ºÇÉ ÄÚÆà ½Ã½ºÅÛÀº °íÁ¤¹Ð µ¶ÀÏÁ¦ µðÁöÅÐ ½ºÅÜÇÎ ¸ðÅÍ°¡ ÀåÂøµÇ¾î ÀÖ¾î ¼ÓµµÀÇ Á¦¾î¹× ±ÕÀϵµ°¡ ¿ì¼öÇÕ´Ï´Ù. Á¤¹Ðµµ´Â ¡¾1.0 rpmÀÔ´Ï´Ù.

?°¡¼Ó
-ÃÖÁ¾ ½ºÇÉ ¼Óµµ·ÎÀÇ ±âÆÇ °¡¼ÓÀº ÄÚÆÃµÈ Çʸ§ÀÇ Æ¯¼º¿¡µµ ¿µÇâÀ» ÁÙ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
- ¼öÁö´Â ½ºÇÉ »çÀÌŬÀÇ Ã¹¹ø° ÆÄÆ®¿¡¼­ °ÇÁ¶µÇ±â ½ÃÀÛÇϹǷÎ, Á¤È®ÇÏ°Ô °¡¼ÓÀ» Á¦¾îÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù.
- ÀϺΠÇÁ·Î¼¼½º¿¡¼­´Â ¼öÁöÀÇ ¿ëÁ¦ Áß ¾à 50%°¡ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ Ã³À½ 5ÃÊ µ¿¾È¿¡ Áõ¹ßÇÏ¿© »ç¶óÁý´Ï´Ù.

- ¶ÇÇÑ °¡¼ÓÀº ÆÐÅÏ½Ä ±âÆÇÀÇ ÄÚÆà Ư¼º¿¡¼­µµ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» Â÷ÁöÇÕ´Ï´Ù.
- ¸¹Àº °æ¿ì ±âÆÇÀº ÀÌÀü ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ÅäÆ÷±×·¡ÇÁÀû Ư¼ºÀ» ±×´ë·Î º¸À¯ÇÕ´Ï´Ù.
- µû¶ó¼­, Ç¥¸é À§¿¡ ±ÕµîÇÏ°Ô ¼öÁö¸¦ ÄÚÆÃÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù.
- ½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º°¡ ¼öÁö¿¡ ¿ø½É·Â(¹Ù±ùÂÊ)À» Á¦°øÇÏ´Â µ¿¾È, °¡¼ÓÀº ¼öÁö¿¡ ȸÀü·ÂÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
- ÀÌ·¯ÇÑ È¸Àü·ÂÀº ¼öÁö¸¦ Ç¥¸é¿¡ °í¸£°Ô ºÐÆ÷½ÃÄÑ, ¾×ü ¼öÁö·Î ÀÎÇØ ±âÆÇ¿¡ À½¿µ ºÎºÐÀÌ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Êµµ·Ï ÇØÁÝ´Ï´Ù


Polos½ºÇÉÄÚÅÍÀÇ °¡¼ÓÀº 30,000RPM/sec ·Î? 1.0 rpm/ÃÊÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ¸·Î ÇÁ·Î±×·¡¹ÖÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

°ÇÁ¶
-½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º Áß ¾×ü ¼öÁöÀÇ °ÇÁ¶À²Àº ¾×ü ÀÚüÀÇ Æ¯¼º(»ç¿ëµÈ ¿ëÁ¦ ½Ã½ºÅÛÀÇ Èֹ߼º)°ú ½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º Áß ±âÆÇ ÁÖÀ§ °ø±â¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µË´Ï´Ù.
. Á¥Àº ¿ÊÀÌ ½ÀÇÑ ³¯¾¾º¸´Ù ¹Ù¶÷ÀÌ ºÎ´Â °ÇÁ¶ÇÑ ³¯¿¡ ´õ Àß ¸¶¸£´Â °Íó·³, ¼öÁöµµ ÁÖÀ§ °ø±â¿¡ µû¶ó °ÇÁ¶ ¼Óµµ°¡ ´Þ¶óÁý´Ï´Ù.
. °ø±â ¿Âµµ ¹× ½Àµµ¿Í °°Àº ¿äÀÎÀÌ ÄÚÆÃµÈ Çʸ§ Ư¼ºÀ» °áÁ¤ÇÏ´Â µ¥ Ä¿´Ù¶õ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù´Â °ÍÀº Àß ¾Ë·ÁÁø »ç½ÇÀÔ´Ï´Ù.
. ¶ÇÇÑ, ½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º Áß °ø±â È帧°ú ±âÆÇ À§ÀÇ ³­·ù¸¦ ÃÖ¼ÒÈ­Çϰųª ÃÖ¼ÒÇÑ ³­·ù¸¦ ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô À¯ÁöÇÏ´Â °Íµµ ¸Å¿ì Áß¿äÇÕ´Ï´Ù.

Polos½ºÇÉ ÄÚÆà Àåºñ´Â ¹ÐÆóÇü º¸¿ï ¼³°è¸¦ »ç¿ëÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÇÊ¿äÇÑ ¿ëµµ¿¡µû¶ó ¶Ñ²±À» ºÐ¸® °¡´ÉÇÏ°Ô ¼³°èµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.

-¹ÐÆóÇü ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ÀåÁ¡Àº ½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º µ¿¾È ¿øÇÏÁö ¾Ê´Â ÀÓÀÇÀû ³­·ù¸¦ ÃÖ¼ÒÈ­ ÇÒ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù

.Áï, ¾×ü ¼öÁöÀÇ °ÇÁ¶¸¦ ´ÊÃß¾îÁÖ°í ÁÖÀ§ ½Àµµ¿¡ µû¸¥ ¿µÇâÀ» ÃÖ¼ÒÈ­Çϴ°ÍÀÔ´Ï´Ù.
.°ÇÁ¶ ¼Óµµ¸¦ ³·Ãâ¼ö·Ï ±âÆÇ ÀüüÀÇ Çʸ§ µÎ²²°¡ ±ÕµîÇØÁý´Ï´Ù.

 

-½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º µ¿¾È ¾×ü ¼öÁö´Â ±âÆÇÀÇ °¡ÀåÀÚ¸® ÂÊÀ¸·Î À̵¿Çϸ鼭 °ÇÁ¶µË´Ï´Ù.
.ÀÌ °æ¿ì ±âÆÇÀÇ Á߽ɺο¡¼­ ¸Ö¾îÁö¸é¼­ ¾×ü ¼öÁöÀÇ Á¡¼ºÀÌ º¯È­ÇϹǷΠ¹æ»ç»ó µÎ²²°¡ ±ÕÀÏÇÏÁö ¾Ê°Ô µÉ ¼öµµ ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌ ¶§, °ÇÁ¶ ¼Óµµ¸¦ ´ÊÃß¸é ±âÆÇ ÀüüÀÇ Á¡¼ºÀ» ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô À¯Áö½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.


Polos½ºÇÉ ÄÚÆà Àåºñ´Â N2Purge ±â´ÉÀÌ ÀÖ¾î ȸÀü½Ã ºÎÇÊ¿äÇÑ ¼Ò¿ëµ¹ÀÌ Çö»óÀ» ÃÖ¼ÒÈ­ ÇÒ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

-°ÇÁ¶À² ¹× ÃÖÁ¾ Çʸ§ µÎ²²´Â ÁÖÀ§ ½ÀµµÀÇ ¿µÇâµµ ¹Þ½À´Ï´Ù.
-»ó´ë ½Àµµ°¡ ¾à°£¸¸ ´Þ¶óÁ®µµ Çʸ§ µÎ²²¿¡ Å« º¯È­°¡ »ý±æ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
-¹ÐÆóÇü º¸¿ï¿¡¼­ ½ºÇÉÀ» Çϸé, ¼öÁö ÀÚüÀÇ ¿ëÁ¦¿¡¼­ »ý±â´Â Áõ±â°¡ º¸¿ï¿¡ °¤È÷°Ô µÇ¾î ÀÛÀº ½Àµµ º¯È­¿¡ ÀÇÇÑ ¿µÇâÀÌ ÁÙ¾îµé°Ô µË´Ï´Ù.

-¿¹¸¦ µé¾î, ÀϹÝÀûÀΠûÁ¤½Ç¿¡´Â ºÐ´ç ¾à 100 ÇÇÆ®(30m/min)·Î °ø±â°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¾Æ·¡·Î È帨´Ï´Ù.
.¿©·¯°¡Áö ¿äÀÎÀÌ ÀÌ·¯ÇÑ °ø±â È帧ÀÇ Æ¯¼º¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌĨ´Ï´Ù.
.º¸Åë ÀÌ·¯ÇÑ ³ôÀº °ø±â È帧¿¡ ÀÇÇØ ³­·ù¿Í ¼Ò¿ëµ¹ÀÌ Àü·ù°¡ ¹ß»ýÇÕ´Ï´Ù.
.ȯ°æ Ư¼ºÀ» Á¶±Ý¸¸ º¯È­½ÃÄѵµ °ø±âÀÇ ÇÏ°­À» Å©°Ô º¯È­½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
. ºÎµå·¯¿î µ¤°³·Î º¸¿ïÀ» ´ÝÀ¸¸é, ½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º¿¡¼­ Á¶ÀÛÀÚ³ª ´Ù¸¥ Àåºñ¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýÇÏ´Â º¯ÀÌ¿Í ³­·ù¸¦ Á¦°ÅÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÇÁ·Î¼¼½º µ¿Çâ íƮ
-´ÙÀ½ íƮ´Â ¿©·¯°¡Áö ÇÁ·Î¼¼½º ¸Å°³º¯¼öÀÇ ÀϹÝÀûÀÎ ¼ºÇâÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù.
-´ëºÎºÐÀÇ ¼öÁö¿¡¼­ ÃÖÁ¾ Çʸ§ µÎ²²´Â ½ºÇÉ ¼Óµµ ¹× ½ºÇÉ ½Ã°£°ú ¹Ýºñ·ÊÇÕ´Ï´Ù.
-ÃÖÁ¾ µÎ²²´Â ¹èÃâ·®¿¡ ºñ·ÊÇÏÁö¸¸, ¹èÃâ È帧ÀÌ ³Ê¹« ³ô¾Æ¼­ ½ºÇÉ ÇÁ·Î¼¼½º Áß ³­·ù°¡ Çʸ§ÀÇ ±ÕÀÏÇÑ °ÇÁ¶¸¦ ¹æÇØÇÏ¸é ±ÕÀϼºÀ» ÀÒ°Ô µË´Ï´Ù.


½ºÇÉ ÄÚÆà ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ¹®Á¦Á¡ ÇØ°á

½ºÇÉ ÄÚÆà Àåºñ
-¾Õ¿¡¼­ ¼³¸íÇßµíÀÌ, ÄÚÆà ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ÁÖµÈ ¿äÀÎÀº ½ºÇÉ ¼Óµµ, °¡¼Ó, ½ºÇÉ ½Ã°£ ¹× ¹èÃâ µîÀÔ´Ï´Ù.

´ÙÀ½Àº ƯÁ¤ÇÑ ÇÁ·Î¼¼½º ¹®Á¦¿¡ ´ëÇØ °í·ÁÇØ¾ß ÇÒ »ç¾ÈÀÇ ¸ñ·ÏÀÔ´Ï´Ù.


Çʸ§ÀÌ ³Ê¹« ¾ãÀ»°æ¿ì
-½ºÇÉ ¼Óµµ°¡ ³Ê¹« ³ôÀ½ ´õ ³·Àº ¼Óµµ¸¦ ¼±ÅÃÇϽʽÿÀ.
-½ºÇÉ ½Ã°£ÀÌ ³Ê¹« ±è °í¼Ó ½ºÅÜ Áß ½Ã°£À» ÁÙÀ̽ʽÿÀ.
-¼öÁö ¼±ÅÃÀÌ ºÎÀûÀýÇÔ ¼öÁö Á¦Á¶¾÷ü¿¡ ¹®ÀÇÇϽʽÿÀ.


Çʸ§ÀÌ ³Ê¹« µÎ²¨¿ò
-½ºÇÉ ¼Óµµ°¡ ³Ê¹« ³·À½ ´õ ³ôÀº ¼Óµµ¸¦ ¼±ÅÃÇϽʽÿÀ.
-½ºÇÉ ½Ã°£ÀÌ ³Ê¹« ªÀ½ °í¼Ó ½ºÅÜ Áß ½Ã°£À» ´Ã¸®½Ê½Ã¿À.



¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀÇ ±âÆ÷
-µð½ºÆ潺µÈ ¼öÁöÀÇ ±âÆ÷
-µð½ºÆ潺 ÆÁÀÌ ºÒ±ÕµîÇÏ°Ô Àý´ÜµÇ¾ú°Å³ª ³¡ÀÌ ¸»·È°Å³ª °áÇÔÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.




ÄÚ¸ä, ½ºÆ®¸®Å© ¶Ç´Â Ç÷¹¾î°¡ »ý±æ°æ¿ì
-¾×üÀÇ ¼Óµµ(µð½ºÆ潺À²)°¡ ³Ê¹« ³ô½À´Ï´Ù.
-½ºÇÉ º¸¿ï ¹èÃâÀ²ÀÌ ³Ê¹« ³ô½À´Ï´Ù.
-½ºÇÉ ÀÌÀü ·¹Áö½ºÆ®°¡ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ³Ê¹« ¿À·¡ ³õ¿© ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
-½ºÇÉ ¼Óµµ¿Í °¡¼Ó ¼³Á¤ÀÌ ³Ê¹« ³ô½À´Ï´Ù.
-µð½ºÆ潺 ÀÌÀü¿¡ ±âÆÇÀÇ Ç¥¸é¿¡ ºÒ¼ø¹°ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
-¼öÁö°¡ ±âÆÇ Ç¥¸éÀÇ Áß¾Ó¿¡ µð½ºÆ潺µÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.




¼Ò¿ëµ¹ÀÌ ÆÐÅÏ
-½ºÇÉ º¸¿ï ¹èÃâÀ²ÀÌ ³Ê¹« ³ô½À´Ï´Ù.
-¼öÁö°¡ ±âÆÇ Ç¥¸éÀÇ Á߾Ӻθ¦ ¹þ¾î³ª µð½ºÆ潺µË´Ï´Ù.
-½ºÇÉ ¼Óµµ¿Í °¡¼Ó ¼³Á¤ÀÌ ³Ê¹« ³ô½À´Ï´Ù.
-½ºÇÉ ½Ã°£ÀÌ ³Ê¹« ª½À´Ï´Ù.



ÄÚÆõÇÁö ¾ÊÀº ¿µ¿ªÀÌ »ý±æ°æ¿ì
-µð½ºÆ潺 ¿ë¾×¾çÀÌ ÃæºÐÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.


½Ì±ÛÇÁ·Î¼¼½º¿ë ½ºÇÉÄÚÅÍ :Spin150i
   ¿ëµµ :cleaning, drying, coating, developing and/or etching of up to Ø160mm substrates:

 
     
  • °¡´É»çÀÌÁî: up to Ø160mm wafer,100mm x 100mm
  • ÀçÁú      : Full Ç÷¡½ºÆ½ ÇÏ¿ì¡(NPP) -¿É¼ÇÀ¸·Î Å×Ç÷РÀçÁú ¼±Åð¡´É
  • RPM      :0-12,000RPM,
  • Accuracy :+ - 1RPM, APT German DC Servo Motor
  • Step      :¹«ÇѽºÅÜ ¹× ¸Þ¸ð¸® (Unlimited Step &Memory)
  • Acceleration / Deceleration : 1-30,000rpm/sec, stepº°·Î ¼³Á¤°¡´É
  • ȸÀü¹æÇâ º¯µ¿°¡´É : (CW, CCW, puddling)
  • Time      : 0.1~99999sec
  • Ä÷¯ÅÍÄ¡½ºÅ©¸°À» ÅëÇÑ ½¬¿î ´Ü°èº° ¸Þ¸ð¸® ÇÁ·Î±×·¥ °¡´É
  • ±Û·Îºê ¹Ú½º³» ¼³Ä¡°¡ ¿ëÀÌÇÑ ÃÖ¼ÒÇü »çÀÌÁî : 274mm(W) x 250mm(H) x451(D) mm :
                                               Å°ÆеåºÐ¸®½Ã : 274mm(W) x 250mm(H) x300mm(D)-Å°º¸µåºÐ¸®Çü

  •   Vacuum On/Off
  • 3 Programmable Dry Contacts: for automated control of Dispense unit, Nitrogen diffuser, etc.
  •   °íÁ¤¹Ð µ¶ÀÏÁ¦ DC ¼­º¸ ¸ðÅÍ »ç¿ë :ÃÖ°íÀÇ Coating Thickness Uniformaty °¡´É
      - Digitally controlled Motor with digital incremental speed signal feed back
  •   Åõ¸íÇÑ ¶Ñ²±¹× :Áß¾Ó¿¡ µð½ºÆæ½Ì¿ë ½Ã¸°Áö Ȧ´õ¿ë Hall :¼öµ¿ µð½ºÆæ½Ì or¿ÀÅäµð½ºÆæ½Ì(Ãß°¡Å°Æ® ÇÊ¿ä) °¡´É
  •   Automatic safety lid lock with sensor interlock
  •   ºÐ¸® °¡´ÉÇÑ ÄÁÆ®·Ñ·¯(ÄÁÆ®·ÑÆеå)
  •   N2 diffuser for N2 purge during process
  •   Structured and password protected recipe storage for easy and safe management
      

Æ÷ÇÔ : standard Vacuum Chuck A-V36-S45-PP-HD, ¨ª45mm for up to ¨ª6¡° wafers.
     
       Drain connection 1¡± male NPT

      

   
     


  

À缺ITS co.

Tel. +031-479-4211/2 jsi@jsits.com

SPIN150i-ind Specifications(Å°º¸µå ºÐ¸®Çü)