ACD200-PTFE-HD 스핀코터                   Spincoater Main

ACD200-PTFE-HD 스핀코터:

• 오토매틱 케미컬 디스펜스:
  • 디스펜싱용 스프레이노즐 6개가지 확장 가능
  • 프로그래머블 시퀀셜 또는 패러렐 디스펜싱(sequential or parallel dispense)
• 돔형 투명한 뚜껑 (central integrated N2 shower purge)
• NPP 하우징
• 데스크탑 모델l: dimensions: 33 (w) x 55 (d) x 32 (h) cm
• 시료사이즈: 최대 Ø260mm (or 8") or 6"x6"
  
  
• 강력서보모터(Heavy-Duty Servo-Controlled Motor):
  • Assuring repeatable rpm rates
  • Clockwise and Counterclockwise Rotation 선택 가능
  • Puddle function for developer purposes
    
    
• 글로브박스내에서도 작동하기 편리한 풀사이즈 키보드,LED 백라이트 디스플레이
   
• 프로그래머블 디지털 콘트롤러:
  • 99프로그램, 99스텝
    
    • Speed 1-10.000rpm, Time, Acceleration
    • 베큠 On/Off 
    • 릴레이(Relay) Open/Close
      
      
• 2 프로그래머블 ON/OFF Switching Outputs
  - 디스펜스 On/Off, Nitrogen On/Off, etc.
• 배출구(Drain)

포함: 2 integrated 스프레이 노즐 / 중앙 N2 purge. 

베큠척: A-V36-S45-PTFE-HD and 프레그먼트 어댑터: D-V10-S50-PTFE-HD up to Ø150mm, or alternatively,포함

베큠척: A-V87-S96-PTFE-HD Ø200mm 용 포함

1 센트럴에이드 (F-Sx/POLOS200) 포함

           or 

NPP or PTFE(Teflon),
데스크탑 or In-Deck(키보드분리형) 선택 주문가능.

옵션 선택 가능항목

• In-Deck:키보드 분리형(ID)
• 웨이퍼 센터링툴(F-Sx/POLOS200)
• Drain Exhaust Hose (DEXT)
• Drain Exhauxt Seperation Port Tee (DET)
• 베큠펌프 (VP80)
• Dispense Vessel in PTFE (DV)
• Adjustable Injector Head (ILACD)
• Back-Side Rinse (BSR)
• Edge Bead Removal (EBR)
• Mini Wet Station (MWS)

TYPICAL APPLICATION:

• DRYING
• RINSE / CLEANING
• ETCHING
• AUTOMATIC COATING
• DEVELOP

PICTURE:

 

 

Available Standard Spray Nozzles