ACD200-NPP 스핀코터:
- 오토매틱 케미컬 디스펜스:
- 디스펜싱용 스프레이노즐 6개가지 확장 가능
- 프로그래머블 시퀀셜 또는 패러렐 디스펜싱(sequential or parallel dispense)
- 돔형 투명한 뚜껑 (central integrated N2 shower purge)
- NPP 하우징
- 데스크탑 모델: dimensions: 33 (w) x 55 (d) x 32 (h) cm
- 시료사이즈: 최대 Ø260mm (or 8") or 6"x6"
- 서보 콘트롤모터 (assuring repeatable rpm rates)
- 글로브박스내에서도 작동하기 편리한 풀사이즈 키보드,LED 백라이트 디스플레이
- 프로그래머블 디지털 콘트롤러:
- 99프로그램, 99스텝
- Speed 1-10.000rpm, Time, Acceleration
- 베큠 On/Off
- 릴레이(Relay) Open/Close
- 2 프로그래머블 ON/OFF Switching Outputs
- 디스펜스 On/Off, Nitrogen On/Off, etc.
- 배출구(Drain)
포함: 2 integrated 스프레이 노즐 / 중앙 N2 purge.
베큠척: A-V36-S45-PP and 프레그먼트 어댑터: D-V10-S50-PP up to Ø150mm, or alternatively,포함
베큠척: A-V87-S96-PP Ø200mm 용 포함
1 센트럴에이드 (F-Sx/POLOS200) 포함
or
NPP or PTFE(Teflon),
데스크탑 or In-Deck(키보드분리형) 선택 주문가능.
옵션 선택 가능항목
- In-Deck:키보드 분리형(ID)
- PTFE(Teflon)하우징
- 고부하 강력모터 for Puddle Function (HD)
- 웨이퍼 센터링툴(F-Sx/POLOS200)
- Drain Exhaust Hose (DEXT)
- Drain Exhauxt Seperation Port Tee (DET)
- 베큠펌프 (VP80)
- Dispense Vessel in PTFE (DV)
- Adjustable Injector Head (ILACD)
- Back-Side Rinse (BSR)
- Edge Bead Removal (EBR)
- Mini Wet Station (MWS)
TYPICAL APPLICATIONS:
- DRYING
- RINSE / CLEANING
- AUTOMATIC COATING
PICTURE:
DOWNLOADS:
- Available Standard Spray Nozzles
재성ITS co. Korea Tel:031-479-4211/2 Fax:031-479-4213
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